Nanofabrication : fundamentals and applications / ed. Ampere A. Tseng

Autor secundário: Tseng , Ampere A.Língua: Inglês.País: Estados Unidos.ISBN: 981-270-542-2 ; 978-981-270-076-6.Publicação: New Jersey (NJ) : World Scientific, cop. 2008Descrição: VIII, 574 p. : il. color.Assunto : Microscopia eletrónica // Nanotecnologia // Materiais nanoestruturados // Litografia de feixe de iões CDU: 620.18:539.2