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CVD of compound semiconductors : precursor synthesis, development and applications / Anthony C. Jones, Paul O'Brien
Autor: Jones , Anthony C.Co-autor: O'Brien , PaulLíngua: Inglês.País: Alemanha.ISBN: 3-527-29294-2.Publicação: Weinheim : VCH, 1997Descrição: XIV, 338 p. : il.Assunto : Compostos organometálicos // Compostos semicondutores // Deposição química de vapor // EpitaxiaCDU: 547
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